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碳化硅拋光液主要成分是納米級的二氧化硅溶膠，顆粒經過專門優化設計，拋光材料表面質量更佳，細劃傷、平整度均能達到要求，可以提高良品率。使用簡單，產品具有很好的流動性和分散性。該產品還具有不易結晶、易清洗、拋光效率高等優點，可以滿足碳化硅晶片的精拋加工要求，也可根據客戶工藝調整做定制化產品。